河曲戰(zhàn)國屬趙，一名林胡，又曰儋林。漢屬太原，為河西郡宣武縣地。西晉末劉淵據(jù)離石，其地屬淵。南北朝時屬北魏。唐隸太原，為嵐州宜芳縣地。五代北漢劉崇置雄勇鎮(zhèn)，屬嵐州。宋太平興國七年（982年）建火山軍，同下州，領(lǐng)雄勇、偏頭、董家、橫谷、桔槔、護(hù)水六寨。慶歷初增領(lǐng)下鎮(zhèn)寨。治平四年置火山縣，熙寧四年廢，屬代州金貞元元年（1153年）， 置河曲縣。大定二十二年（1182年）升為州，后更名燠州。興定二年（1218年）九月改隸嵐州。四年遷治黃河灘許父寨。元憲宗七年（1257年）省州縣入保德州。明洪武二年（1369年）仍置縣。六年省，十四年復(fù)置，隸太原府，別號熒臺。編戶7里。清朝仍舊。順治二年改為5里。東西廣97里，南北袤180里。舊治在太原府西北480里。雍正二年（1724年），改隸保德州。乾隆二十九年（1764年）遷治河保營。

　　民國三年（1914年）置道，屬雁門道。民國十六年（1927年）廢道，直屬山西省。1937年，全省劃為七個行政區(qū)，河曲屬第二行政區(qū)。1940年2月解放，屬第二游擊區(qū)行署二專區(qū)。次年8月屬晉西北行署二專區(qū)。1943年11月，屬晉綏邊區(qū)行署二專區(qū)。1945年9月，屬晉綏邊區(qū)雁門行署二專區(qū)。次年6月雁門行署撤后直屬邊區(qū)行署。

　　1949年2月屬陜甘寧邊區(qū)晉西北行署二專區(qū)。1949年9月，山西省人民政府設(shè)興縣專員公署，河曲隸之。1952年，劃歸忻縣專員公署。1959年1月，河曲、偏關(guān)、保德合并為“河曲縣”，駐巡鎮(zhèn)。同年7月1日又分三縣，恢復(fù)原建置。此段屬晉北專員公署。1961年，晉北專署撤，河曲復(fù)歸忻縣專員公署。1967年屬忻縣地區(qū)革命委員會。1979年屬忻縣地區(qū)行政公署。1983年，改為忻州行署，河曲仍隸之。